靜電作為一種近場自然危害源,給人類社會已經造成了重大損失和危害。除此之外,由于靜電場的庫侖力作用或靜電放電的其他效應,在塑料和橡膠制品加工、成型過程中,在紡織、印刷、自動化包裝、感光膠片生產等過程中,都會由于靜電場的存在或靜電放電使其生產出現故障,造成靜電障礙。
隨著微電子技術的迅猛發(fā)展,電子產品的更新換代周期愈來愈短,大規(guī)模集成電路、超大規(guī)模集成電路、專用集成電路以及超高集成電路已廣泛應用于各個領域。近幾年,由于航天、軍事領域的特殊需要,各種微電子器件已大大提高了集成度,而且做到了微功耗、高可靠、多功能。電路中的絕緣層越來越薄,其互連導線的寬度與間距也越來越小。這樣發(fā)展的器件的電磁敏感度大大提高,抗過電壓能力卻有所下降。據統(tǒng)計,不合格的電子器件中有45%是靜電放電危害造成。在電子工業(yè)領域,全球每年因靜電造成的損失高達百億美元。
近幾年,隨著微納米器件和微細加工的發(fā)展,對靜電防護問題提出了更高的要求。為此世界各工業(yè)發(fā)達國家都十分重視靜電危害及其防護研究。人們不僅在各個工業(yè)生產領域研究防止靜電危害的對策,保證生產過程的安全性和產品質量、性能的可靠性,而且注重研究產品在靜電存在的環(huán)境中使用過程的電磁兼容性。靜電放電形成的寬頻帶電磁輻射會對各種電子系統(tǒng)造成電磁干擾,所以在各種電子產品的電磁兼容性設計中都要考慮靜電防護這一要求。
美國的軍用標準和國際電工委員會標準等相關的電磁兼容性內容都對靜電放電防護提出了具體要求。如國際電工委員會IEC61000-4-2,不僅對靜電放電模型參數、
靜電放電發(fā)生器及試驗方法作出了嚴格規(guī)定,而且隨著靜電放電試驗的研究和工業(yè)生產發(fā)展的要求,對該標準不斷進行了修訂。從1991年的IEC801-2到目前的IEC61000-4-2已進行了多次大的修改??梢姡o電放電的防護問題已不是過去單純研究靜電引起災害事故和生產障礙的安全性問題,而是包括靜電放電形成電磁干擾的系統(tǒng)及系統(tǒng)間的電磁兼容性問題。
總之,靜電放電是一種常見的近場危害源,靜電放電過程可形成高電壓、強電場、瞬時大電流,其電流波形的上升時間可小于1ns,并伴隨有強電磁輻射,形成靜電放電電磁脈沖。靜電放電電磁脈沖不僅可以對電子設備造成嚴重干擾和損傷,而且還可能形成潛在性危害,使電子設備的工作可靠性降低,引發(fā)重大工程事故。尤其是潛在性失效具有隱蔽性。
隨著微電子技術的發(fā)展,信息化時代的到來,給靜電防工程研究又提出了
電磁兼容性研究的新內容、新課題和技術難點。如靜電放電輻射場的模擬方法和數理模型的建立;ESD產生的單次脈沖場的測試技術與測試手段;微電子器件受ESD作用的機理;潛在性失效的實驗分析方法和潛在性失效的微觀機制以及有效的防護原則與防護技術等,都是該研究領域當前急待解決的熱點問題。